電極直径5マイクロメートル 低い侵襲性による神経計測
・VLS成長法 シリコンウィスカ結晶成長技術によるマイクロニードル製法 ・神経電極 メタル配線、パリレン膜絶縁、先端開口でシングルユニット記録 ・パッケージング 計測用途に合わせた電極パッケージング