株式会社大阪真空機器製作所のカタログ一覧

TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を...

バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適合

コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。

磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。 300L/s～3400L/sクラスまでラインアップしています。

グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能で、ターボ分子ポンプの新しい可能性を追求したシリーズです。 50L/s ～ 2400L/s クラスまでラインアップしています...

複合分子ポンプの特長 ●広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ●大流量排気：大量のガスを流せます。　※ルーツ真空ポンプが不要になります。 ●優れた耐久性：不意の大気導入に強い構造になっています。 ●長期間使用可能...

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で、最も経済性・操作性に優れたポンプであり、幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。

ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。ルーツ真空ポンプは通常、ドライ真空ポン...