株式会社大阪真空機器製作所のカタログ一覧

ターボ分子ポンプ（TMP）とは、機械式真空ポンプの一種です。ジェットエンジンの羽根に似たタービン翼で構成された「ロータ」を高速回転させ、気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気する真空ポンプです。

TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を...

バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適合

コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。

TG-Fシリーズ /TGシリーズ/TSシリーズ

ターボ分子ポンプは、内部にあるロータの構造とそのロータの軸受構造により分類されます。ロータ構造は、大阪真空が世界で初めて開発した「複合ロータ（タービン翼＋ヘリカル溝）」とタービン翼だけの「全翼ロータ」とねじ溝だけの「ヘリカル溝ロータ」の３種類に分類さ...

磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。 300L/s～3400L/sクラスまでラインアップしています。

小型・軽量で持ち運びが容易。全圧力領域（大気圧～到達圧力）連続運転可能。ヘリウムや水素などのような軽分子ガスの排気が可能な空冷式ドライ真空ポンプ。

直結型油回転真空ポンプ VRDシリーズよりも省エネ・低騒音・低振動。耐錆性能を向上させ、マグネットカップリングにより、吸引物による油漏れの心配がない。VRD-4よりも小型機種をラインアップし、より軽量でコンパクト。

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で、最も経済性・操作性に優れたポンプであり、幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。

ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。ルーツ真空ポンプは通常、ドライ真空ポン...