真空装置には、気体や液体が通過する経路の遮断、真空環境の制御に様々なゲートバルブが用いられます。開口部形状が丸型のものは主に気体、光等の導入、仕切り弁として用いるため、主に真空配管の接続部に使用されます。開口部形状が角型のものは真空装置の中で主に半導体製...
口径250A~500A
MARINAは安定したシール性能を持ち、シンプルな構造、 コンパクトなデザインの丸型・振子式バルブです。 半導体製造装置から、大型FPD製造装置まで対応したバルブをシリ-ズ化しました。
規格品、応用品、特注品などご要望に応じて設計・生産いたします。
【掲載内容】 ■成形べローズ/Formed Bellows ■IF規格成形べローズ/IF standard formed bellows ■CF規格成形べローズ/CF standard formed bellows ■IC規格成形べ...
IE 規格及びS,A 規格をご使用の方に見やすく、使いやすいように掲載しています
規格品、応用品(個別設計)、特注品(新規設計)など様々なご使用に対して対応させていただきますので、お気軽にご相談下さい。
ロイヤル成形ベローズとスーパー成形ベローズの製品カタログです。
■ロイヤル成形ベローズの特徴 溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回) 優れた耐食性を有する 高温強度を有する (650°に於いて SUS316L の常温引張 強さ、0.2%耐力等よりも優れております) Cl2、HBr ガスに対しても応力腐...
規格品以外の長さ及びフランジの製作もしています。
真空用機器の配管接続に、便利でかつ柔軟な耐腐食性を持つステンレス製フレキシブルチューブを取り揃え、従来品である4種類の規格品(VF)に新規品(VFP)を加えました。
パーティクル巻上げ防止に
特徴 1)初期排気の時、定数(真空容器容積/廃棄速度:sec)を〜120secと広範囲に設定できます 2)全体がコンパクト設計により、小型、軽量化されました 3)正圧、逆圧どちらでも0.15MPaの圧力でも漏れません 4)取り付け姿勢は任意です ...
第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化 開口幅400mm~2000mm
FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、真空機器などで培った技術と 独自の技術開発により、これに応える大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化しました。
角型ゲートバルブです。
「コスラーズ2」は、無摺動角型ゲートバルブとし、国内最初に開発した「コスラーズ1」の設計思想(無塵化)を受け継ぎ、より高性能に発展させたゲートバルブです。 その「コスラーズ2」をIKCの継続した開発により、小型化、軽量化を追及し、「コンパクトコスラーズ...