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小型エキシマレザーを搭載し、コンバクトな装置として限られたスペースにも設置可能。 リアルタイムモニターで確認しながら加工状態の確認や調整を行うことが出来ます。
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UV-KUB(キューブ)は、コンパクトで低価格なUV-LED露光装置です。ウォーミングアップを必要とせずに10000時間の長寿命LEDによってΦ4インチまでの基板に全面露光できます。オプティクス、バイオテクノロジー、マイクロマシン、1-2枚マスクレベルの...
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●UVレーザーで直接露光、最小スポット径0.5μ、マスク不要。 ●SU-8レジスト対応でマイクロ流体デバイス、マイクロ構造体も作成。 ●広い露光面積でもエッジが滑らか。