ガルバノスキャナーとXYステージの同期制御システム
SCANLAB社(ドイツ)と、ACS Motion Control社にて共同開発した “XL SCAN”は、2DガルバノスキャンヘッドとXY位置決めステージを同期制御させることで、大面積を高精度に高スループットで動かすことができます。 アプリケー...
EtherCATによる産業用・高性能モーションコントローラ・ドライバーなどをご紹介
ACS社は1985年に創業しイスラエルに本社があり、主要国に子会社を置き、世界中に代理店やパートナーのグローバルネットワークを持っています。 2017年より、ACS社は、超精密位置決めに特化した”PhysikInstrumente社”(PI社)の一員に...
PI社のピエゾはすべて自社生産。他社と違い長寿命をうたうPICMA®セラミック使用。...
・精密位置決め市場を牽引するドイツPI社のピエゾステージ。 ・ナノポジショニングステージとスキャナでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、...
メカニカルベアリングによる可動部のブレなどは、エアーベアリングを使うことで解決します...
摩擦がなく高精度の位置決め 非常に優れた速度安定性 最大5 µrad/100 mmの非常に優れたガイド精度 ガントリー向けのアクティブヨーイング制御 直接駆動リニアモーターおよびトルクモーターによりスムーズな高速スキャンに対応 ACS Mot...
グラナイト(石)加工専門メーカ
2021年にPIグループになった、ピー・ヂー・ダブリュー株式会社(PGW)社は、25年に渡り、グラナイト(石)の精密加工・組立を専門に長年提供しています。またグラナイトを用いた位置決め機器システムの開発設計・製造も行っています。FPD、半導体など向けを得...
ハイパフォーマンス、コンパクトXYナノポジショニングシステム
・スキャン用途や高精度な位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・最大300 mm × 300 mmの移動範囲 ・最大積載量 147 N ・ロープロファイル ・分解能:1 nm
顕微鏡対物レンズ用高精度ポジショナー&スキャナー
・最大動作量 100µm、400µm、800μmの3タイプ ・モータードライブよりも大幅に速い応答性と長寿命 ・サブナノメートルの分解能での対物レンズの微細な位置決め ・静電容量式センサーによる直接位置測定: 最高の直線性
ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ
ライフサイエンス、材料顕微鏡、品質保証、半導体製造など、様々な用途において、対物レンズの垂直方向の位置決めシステムは、ますます重要な役割を果たしています。ピエゾを用いたレバー増幅型の垂直軸は、約20年前からこの課題に対する標準的なソリューションとして証明...
ピエゾ、各種モータを駆動源とした製品の紹介。各駆動品の特長や比較一覧にしております
・スペースが限られているアプリケーションでは、小さなステージやアクチュエータが不可欠です。特に、 PI 社 のコンパクト精密位置決め製品は、最先端の研究開発、超高真空アプリケーションや非磁性環境、微小部品のマイクロアセンブリ、産業用アプリケーションでの小...