オメガトロンで特注すればEBWが現実的に
肝となる電子銃からすべて弊社の技術で作られており、電子銃イオン銃、メカ等の特注で鍛えられているので、使用変更の依頼を柔軟に対応することが可能です。
国家プロジェクトで使われた最先端加工技術をみなさまに!
EUV露光装置のミラー制度は0.1nmRMSの平滑度が求められ、イオンビームフィギュアリングにより実現しています。